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J-GLOBAL ID：200903022716358304

温度調節計、およびこれを用いた露光装置

Inventor： 涌井 伸二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001157016
Publication number (International publication number)：2002351502
Application date： May. 25, 2001
Publication date： Dec. 06, 2002
Summary：

【要約】【課題】 外乱が入った場合の抑圧性の予測等を行い、より高性能な温度制御の実現を図る温度調節計を提供し、この温度制御性の向上を行うとともに、生産性の向上を図る露光装置を提供する。【解決手段】 気体の温度を調節する温度調節計であって、温度制御フィードバック系の伝達関数のパラメータであるプラントパラメータを算出する算出手段(ステップS3およびステップS4)と、前記プラントパラメータを表示する表示手段とを有する。

Claim (excerpt)：

温度制御フィードバック系を有し、気体の温度を調節する温度調節計であって、温度制御フィードバック系の伝達関数のパラメータであるプラントパラメータを算出する算出手段と、前記プラントパラメータを表示する表示手段とを有することを特徴とする温度調節計。

IPC (5)：

G05B 11/36 503 ,  G05B 11/36 501 ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 23/00 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G05B 11/36 503 C ,  G05B 11/36 501 B ,  G03F 7/20 521 ,  G05D 23/00 B ,  H01L 21/30 516 E

F-Term (27)：

5F046DA26 ,  5F046DB02 ,  5H004GA07 ,  5H004GB15 ,  5H004HA01 ,  5H004HB01 ,  5H004KA48 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004KB22 ,  5H004KB24 ,  5H004LA03 ,  5H004MA49 ,  5H323AA05 ,  5H323BB01 ,  5H323CA01 ,  5H323CB04 ,  5H323CB25 ,  5H323CB32 ,  5H323CB35 ,  5H323FF04 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323LL05 ,  5H323PP04