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J-GLOBAL ID：200903022737076279

欠陥分類方法

Inventor：
本田 敏文

About 本田 敏文

, 
宮本 敦

About 宮本 敦

, 
奥田 浩人

About 奥田 浩人


Applicant, Patent owner：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

About 株式会社日立ハイテクノロジーズ


Agent (2)： 作田 康夫 ,  井上 学
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004066542
Publication number (International publication number)：2004295879
Application date： Mar. 10, 2004
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：
【課題】マニュアルで分類した欠陥を教師欠陥として分類基準を設定する手法は公知の方法があったが、設定された基準が今後取得する未知の欠陥に対して妥当で適当であるか推定する方法は知られていなかった。また、分類基準が適正でないと判断された場合に既に設定された分類基準に対してより適正な分類基準の設定を保障する手法は従来知られていなかった。【解決手段】2つの異なる分類基準をもとに分類クラスが未知の欠陥を分類し、分類結果が異なる欠陥を収集して、収集された欠陥にマニュアルで欠陥の分類クラスを与える。分類クラスの与えられた欠陥を、分類基準を設定するグループと評価するグループに分割し、分類基準を設定するグループに属する欠陥を最大の性能で分類するように設定された分類基準に基づき評価するグループに属する欠陥を分類した場合の分類性能を算出し、設定した分類基準の妥当性を評価する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
試料を撮像して検出した第1の欠陥群の画像を欠陥の分類クラスごとに分類するステップと、 該分類クラスごとに分類した前記第1の欠陥群の画像の情報を用いて分類基準を作成するステップと、 分類クラスが既知の前記試料上の第2の欠陥群の画像を該作成した分類基準に基いて分類するステップと、 該分類クラスが既知の第2の欠陥群の画像を前記分類基準に基いて分類した結果に基いて前記分類基準の分類正解率を求めるステップと、 該分類正解率のデータに基いて前記分類基準を修正するステップと を備えたことを特徴とする欠陥分類方法。
IPC (3)：
G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66
FI (3)：
G06T1/00 305D ,  G06T7/00 250 ,  H01L21/66 J
F-Term (23)：
4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA38 ,  4M106DB02 ,  4M106DB05 ,  4M106DB12 ,  4M106DJ19 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ28 ,  5B057AA03 ,  5B057CG06 ,  5B057DA03 ,  5B057DA12 ,  5B057DC02 ,  5B057DC36 ,  5B057DC40 ,  5L096BA03 ,  5L096HA07 ,  5L096JA11 ,  5L096JA22 ,  5L096KA01 ,  5L096KA04 ,  5L096MA07
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (8)
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