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J-GLOBAL ID：200903022751683927

カンチレバー及びそれを用いた走査型温度分布計測装置

Inventor： 原 信也
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997183053
Publication number (International publication number)：1999014468
Application date： Jun. 23, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 本来測定すべき試料表面の点から伝わる熱以外の、レバー部を介して伝わる熱による影響を低減し、試料表面の精度の高い温度分布の計測を行う。【解決手段】 カンチレバー40は、先端側に探針41を有するレバー部42と、該レバー部42を支持する支持体43とを備える。探針41には熱電対44が設けられ、レバー部42の中心付近には熱電対45が前記熱電対44とは別個に設けられている。熱電対44からの信号を熱電対45からの信号に基づいて補正して得た温度情報を、カンチレバー40の試料に対する試料表面と略平行な方向の相対的な位置に応じて得る。

Claim (excerpt)：

先端側に探針を有するレバー部と、該レバー部を支持する支持体とを備え、前記レバー部における前記探針の付近又は前記探針に第1の温度センサが設けられたカンチレバーにおいて、少なくとも1つの第2の温度センサが、前記レバー部に前記第1の温度センサとは別個に設けられたことを特徴とするカンチレバー。

IPC (3)：

G01K 7/14 ,  G01B 21/30 ,  G01N 37/00

FI (3)：

G01K 7/14 ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 37/00 G