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J-GLOBAL ID：200903022790195328

レーザー超音波検査装置

Inventor： 永田 泰昭
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 半田 昌男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997066784
Publication number (International publication number)：1998260165
Application date： Mar. 19, 1997
Publication date： Sep. 29, 1998
Summary：

【要約】【課題】 検査対象を液体中に浸すことなく非接触で検査でき、かつ検査対象内部の欠陥の種類まで識別することができるレーザー超音波検査装置を提供する。【解決手段】 レーザー光源10から発せられたレーザービーム11はビームセパレータ12に入り、ここで例えば10本の平行なレーザービームに分割される。分割されたそれぞれのレーザービームは、マルチチャンネル音響光学素子13のそれぞれのチャンネルに入射し、ここから出射したレーザービームはビームエキスパンダ14で略直線状のビームとされ、鋼材16の表面に直線状にラインフォーカスされ、且つこれらの直線状の照射ラインが互いに平行となるように照射される。これらのレーザービームを照射ラインと垂直な方向に走査することにより、鋼材中の所定方向に超音波を伝播させることができ、所望の入射角で欠陥に当てることができる。

Claim (excerpt)：

励起用レーザー光源と、前記励起用レーザー光源より発せられたレーザービームを複数のレーザービームとするビーム分割手段と、少なくとも前記複数のレーザービームと同数のチャンネルを有し、各チャンネルごとに独立して設けられた音響光学素子に前記複数のレーザービームを通過させる音響光学手段と、前記音響光学手段の各チャンネルから出射するレーザービームを、その進行方向に垂直な断面が直線状となるように各レーザービームを平行に引き伸ばすビーム伸張手段と、前記音響光学手段の各チャンネルの音響光学素子に所定の電気信号を供給することにより、前記音響光学手段の各チャンネルから出射し前記ビーム伸張手段をへて検査対象の表面に直線状且つ平行に照射される複数のレーザービームを、その配列方向に所定速度で走査するよう制御する信号発生手段と、前記複数のレーザービームの照射及び走査によって検査対象内部の所定方向に伝播する超音波が欠陥で反射されて生じる超音波エコーを検査対象の表面上で検出する超音波検出手段と、前記検査対象内部を伝播する超音波が欠陥との境界部に入射する入射角と、前記超音波検出手段によって検出された超音波エコーの反射率との関係から前記欠陥の種類を識別する欠陥識別手段と、を具備することを特徴とするレーザー超音波検査装置。