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J-GLOBAL ID：200903022803692989

電子線またはX線用レジスト組成物

Inventor： 阿出川 豊
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Agent (1)： 小栗 昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000094752
Publication number (International publication number)：2001281864
Application date： Mar. 30, 2000
Publication date： Oct. 10, 2001
Summary：

【要約】【課題】 感度の低下を引き起こすことなく、高解像力を有し、矩形状の優れたパターンプロファイルを与えることのできる電子線またはX線用ポジ型及びネガ型レジスト組成物を提供する。また、塗布性(面内均一性)に優れた電子線またはX線用ポジ型及びネガ型レジスト組成物を提供する。【解決手段】 (a)電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物、(b)導電性微粒子または導電性有機高分子からなる群から選択される少なくとも一種、を含有する電子線またはX線用レジスト組成物。

Claim (excerpt)：

(a)電子線またはX線の照射により酸を発生する化合物、(b)導電性微粒子または導電性有機高分子からなる群から選択される少なくとも一種、を含有することを特徴とする電子線またはX線用レジスト組成物。

IPC (14)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/54 ,  C08F 8/12 ,  C08F 12/22 ,  C08F 34/02 ,  C08F257/02 ,  C08F269/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/027

FI (14)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 2/54 ,  C08F 8/12 ,  C08F 12/22 ,  C08F 34/02 ,  C08F257/02 ,  C08F269/00 ,  C08K 5/00 ,  C08L101/12 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 504 ,  G03F 7/038 601 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (118)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025CB52 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC09 ,  2H025CC10 ,  2H025CC20 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  4J002AA001 ,  4J002BC022 ,  4J002BC101 ,  4J002BC122 ,  4J002BG052 ,  4J002BQ001 ,  4J002CC042 ,  4J002CE001 ,  4J002CH023 ,  4J002EA028 ,  4J002EA048 ,  4J002EB106 ,  4J002EB108 ,  4J002ED019 ,  4J002ED057 ,  4J002EE018 ,  4J002EE037 ,  4J002EH127 ,  4J002EJ019 ,  4J002EJ049 ,  4J002EL028 ,  4J002EL058 ,  4J002EL087 ,  4J002EL108 ,  4J002EU028 ,  4J002EU186 ,  4J002EU216 ,  4J002EV047 ,  4J002EV207 ,  4J002EV216 ,  4J002EV217 ,  4J002EV246 ,  4J002EV296 ,  4J002EV308 ,  4J002FD149 ,  4J002FD206 ,  4J002FD207 ,  4J002FD208 ,  4J002FD209 ,  4J002FD313 ,  4J002FD319 ,  4J002GP03 ,  4J011PA22 ,  4J011PA26 ,  4J011PA27 ,  4J011PA45 ,  4J011PA74 ,  4J011PA83 ,  4J011PB27 ,  4J011PC02 ,  4J011QA01 ,  4J011QA09 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AA60 ,  4J026AB40 ,  4J026AB46 ,  4J026AC36 ,  4J026BA04 ,  4J026BA05 ,  4J026BA06 ,  4J026BA07 ,  4J026BA08 ,  4J026BA15 ,  4J026BA50 ,  4J026GA07 ,  4J100AB02R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AL03Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL08P ,  4J100AL34Q ,  4J100AM07R ,  4J100AM49Q ,  4J100AM49R ,  4J100AQ01P ,  4J100BA02Q ,  4J100BA02R ,  4J100BA03H ,  4J100BA03P ,  4J100BA03R ,  4J100BA04Q ,  4J100BA04R ,  4J100BA06Q ,  4J100BA10Q ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BA22Q ,  4J100BC09Q ,  4J100BC43Q ,  4J100BC43R ,  4J100BC53Q ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100HA08 ,  4J100JA38