感放射線性樹脂組成物

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大島正孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995304023
Publication number (International publication number)：1997146276
Application date： Nov. 22, 1995
Publication date： Jun. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】感度、現像性、残膜率、耐熱性、基板との密着性、透明性および耐薬品性に優れたポジレジスト性感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 (A)不飽和カルボン酸、グリシジルオキシメチル基置換スチレン系モノマーおよびその他のモノマーからなる共重合体、(B)1,2-キノンジアジド化合物並びに(C)潜在性酸発生剤を含有する感放射線性組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

[A](a-1)不飽和カルボン酸および(a-2)下記一般式[I]【化1】(上記一般式[I]中、R1〜R3は各々独立に、水素原子または炭素数1〜10のアルキル基であり、mは1〜5の整数である。)で示されるエポキシ基含有ラジカル重合性化合物、とを共重合成分として含有する共重合体、[B]1,2-キノンジアジド化合物、並びに[C]潜在性酸発生剤、を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (9)：

G03F 7/039 501 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 501 , G03F 7/027 511 , G03F 7/027 515 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H01L 21/027

FI (9)：

G03F 7/039 501 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 503 , G03F 7/022 501 , G03F 7/027 511 , G03F 7/027 515 , G03F 7/029 , G03F 7/033 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

感放射線性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-039925 Applicant：日本合成ゴム株式会社
熱硬化性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-062595 Applicant：日本合成ゴム株式会社
マイクロレンズ用感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-135895 Applicant：東ソー株式会社

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