Pat

J-GLOBAL ID：200903022812194657

近接場光学顕微鏡などに使用されるプローブの製造方法

Inventor： 柴田 規夫 ,  鈴木 和夫
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068223
Publication number (International publication number)：1995218516
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：

【要約】【目的】 プローブ先端部の先端角が所望の値となるように制御する。【構成】 円柱状のプローブ用材料の一端をエッチング液に浸して化学エッチングを行うことで、円柱状の基礎部11と、基礎部11の断面と同一形状の底面および基礎部11と同一の回転軸を有する円錐体状の先端部12からなるプローブを製造する方法において、前記エッチングの際に、プローブ用材料に対するエッチング液の液面を所定の速度で移動させることで、このプローブ用材料のエッチング液中の滞在時間を先端部12を形成する側の一端に向かうにしたがって長くする。

Claim (excerpt)：

円柱状のプローブ用材料の一端をエッチング液に浸して化学エッチングを行うことで、円柱状の基礎部と、該基礎部の断面と同一形状の底面および基礎部と同一の回転軸を有する円錐体状の先端部からなるプローブを製造する方法において、前記エッチングの際に、前記プローブ用材料に対するエッチング液の液面を所定の速度で移動させることで、前記プローブ用材料のエッチング液中の滞在時間を前記先端部を形成する側の一端に向かうにしたがって長くすることを特徴とするプローブの製造方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 102 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/29