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J-GLOBAL ID：200903022814648787

固体材料表面改質方法および固体材料表面改質装置

Inventor： 村原 正隆
Applicant, Patent owner： 学校法人東海大学 ,  ウシオ電機株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993332993
Publication number (International publication number)：1995185315
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 25, 1995
Summary：

【要約】【目的】小規模な装置で、短時間の処理時間でプラスチックス、ゴム、布、金属、半導体、セラミックス、木材、動植物体などの固体材料表面を改質することを目的とする。【構成】紫外光透過可能な誘電体と、その一方の側に配置された誘電体バリヤ放電用のガス雰囲気と第1の電極とを備えた誘電体バリヤ放電ランプと、前記誘電体の他方の側に配置された第2の電極と、前記誘電体と第2の電極との間に、処理用流体を供給する処理用流体供給手段と、第1の電極と第2の電極とに交流高電圧または直流パルス高電圧を印加する電源装置とよりなり、前記誘電体と第2の電極との間を固体材料表面の改質領域として構成したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

紫外光を透過することのできる誘電体と、この誘電体の一方の側に配置された誘電体バリヤ放電用のガス雰囲気と第1の電極とを具える誘電体バリヤ放電ランプと、前記誘電体の他方の側に、処理用流体を介して配置された第2の電極と、第1の電極と第2の電極とに交流高電圧または直流パルス高電圧を印加することのできる電源装置とより成り、前記誘電体と第2の電極との間を、固体材料表面の改質領域として構成したことを特徴とする固体材料表面改質装置。

IPC (6)：

B01J 19/08 ,  C08J 7/00 304 ,  C22F 3/00 ,  C23C 16/48 ,  C23C 16/50 ,  C23F 4/00