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J-GLOBAL ID：200903022882058653

X線発生装置

Inventor： 神高 典明 ,  近藤 洋行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996218295
Publication number (International publication number)：1998064694
Application date： Aug. 20, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 利用するX線の波長を短時間にすばやく切り替えることが可能であり、その結果、X線装置の使用効率を著しく向上させることができるX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材は、基板103と、該基板上の異なる領域にそれぞれ形成されてなる複数の物質層102、104とを備えており、各物質層は互いに異なる物質の層であり、該複数の物質層及び該基板の露出面のうち所望の物質層または基板露出面に前記励起エネルギ-ビ-ムが照射されるようにしたことを特徴とするX線発生装置。

Claim (excerpt)：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記標的部材は、基板と、該基板上の異なる領域にそれぞれ形成されてなる複数の物質層とを備えており、各物質層は互いに異なる物質の層であり、該複数の物質層及び該基板の露出面のうち所望の物質層または基板露出面に前記励起エネルギ-ビ-ムが照射されるようにしたことを特徴とするX線発生装置。