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J-GLOBAL ID：200903022932224398

橋かけポリマー

Inventor： ハンス-トーマス・シヤハト ,  ノルベルト・ムエンツエル ,  カール-ローレンツ・メルテスドルフ ,  パスクアーレ・アルフレド・フアルチーニヨ ,  ハインツ・ホルツヴアルト ,  オツトマル・ローデ ,  ハンス-ヨルク・キルナー
Applicant, Patent owner： オー・シー・ジー・マイクロエレクトロニツク・マテリアルズ・インコーポレイテツド
Agent (1)： 高木 千嘉 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995330237
Publication number (International publication number)：1996253534
Application date： Dec. 19, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 フォトレジストのためのバインダー樹脂として用いられる部分橋かけポリマーの提供。【解決手段】 式I及びII:(R1及びR2は、H、メチル又はハロゲンであり、R3及びR4は、C1〜C6アルキル、C1〜C6アルコキシ又はハロゲンである)の構造繰り返し単位よりなり、この式I及びIIの構造単位中ヒドロキシル基の5〜90%は、式III:(R5はC1〜C6アルキル、R6はH、C1〜C6アルキル、R7はC1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール又はC6〜C30アラルキル)の保護基によって置換され、ポリマー鎖は式IV、V又はVI:の構造単位よりなる5000〜1000 000のMwを有するポリマーは、高い処理安定性、高いコントラスト及び良好な解像のDUVフォトレジストのためのバインダーとして適している。

Claim (excerpt)：

式I及びII:【化1】(式中R1及びR2は、互いに独立して水素、メチル又はハロゲンであり、R3及びR4は、互いに独立して水素、C1〜C6アルキル、C1〜C6アルコキシ又はハロゲンである)の構造繰り返し単位よりなり、この式I及びIIの構造単位中ヒドロキシル基の5〜90%は、式III:【化2】(R5はC1〜C6アルキルであり、R6は水素又はC1〜C6アルキルであり、R7はC1〜C18アルキル、C5〜C10シクロアルキル、C5〜C14アリール又はC6〜C30アラルキルである)の保護基によって置換され、アルキル、シクロアルキル、アリール又はアラルキル基は、置換されていないか又は1つもしくはそれ以上のヒドロキシル基、ニトロ基又はハロゲン原子によって置換されていることが可能であり、ポリマー鎖は式IV、V又はVI:【化3】(式中R1〜R6は上に定義された通りである)の構造単位よりなる5000〜1000 000の平均分子量Mw(重量平均)(ゲル浸透クロマトグラフィーを用いて測定)を有するポリマー。

IPC (10)：

C08F212/14 MJY ,  C08F210/00 MJS ,  C08F216/18 MKY ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/06

FI (10)：

C08F212/14 MJY ,  C08F210/00 MJS ,  C08F216/18 MKY ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/033 ,  G03F 7/039 501 ,  H05K 3/00 F ,  H05K 3/06 H ,  H01L 21/30 502 R