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J-GLOBAL ID：200903022964635160

X線評価装置

Inventor： 桂川 忠雄 ,  谷 克彦 ,  千葉 恵里子
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 柏木 明 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993211168
Publication number (International publication number)：1994160312
Application date： Aug. 26, 1993
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 物質の表面構造を広範な計測法で評価し得るようにすること。【構成】 X線源4と、このX線源4からのX線を分光するX線分光器7と、試料8を下向きに保持するマニピュレータ9と、前記X線分光器7からのX線を前記試料8に対して入射させる入射角可変自在な全反射ミラー10と、前記試料8から出射されるX線及び電子線を検出する二次元検出器13とを真空チャンバ2内に内蔵し、X線を真空中で取扱うようにした。

Claim (excerpt)：

X線源と、このX線源からのX線を分光するX線分光器と、試料を下向きに保持するマニピュレータと、前記X線分光器からのX線を前記試料に対し入射させる入射角可変自在な全反射ミラーと、前記試料から出射されるX線及び電子線を検出する二次元検出器と、これらのX線源とX線分光器と試料とマニピュレータと全反射ミラーと二次元検出器とを内蔵した真空チャンバとよりなることを特徴とするX線評価装置。