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J-GLOBAL ID：200903023005539450

質量分析装置における気体導入装置

Inventor： 中川 和雄 ,  本多 善久 ,  山崎 博実 ,  高▲桑▼ 保志 ,  青木 吉昭
Applicant, Patent owner： 日機装株式会社
Agent (1)： 浜田 治雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994081706
Publication number (International publication number)：1995288098
Application date： Apr. 20, 1994
Publication date： Oct. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】 気体試料を測定対象とする質量分析装置において、素材に吸着ないし吸蔵または内封されている微量気体を有効に分析し得る、簡単な構成で操作の簡便な気体導入装置を得る。【構成】 試料Sを挿入配置する試料室10と、この試料室を高真空に排気する真空ライン20と、前記試料室内に挿入される可動軸32を有し該室内の真空度を低下させることなく直線または回転運動を与えて試料Sを破砕する破砕手段34と、破砕された試料Sより脱離した気体成分を質量分析計に導入する可変バルブ22とを備える。

Claim (excerpt)：

試料を挿入配置する試料室と、この試料室を高真空に排気する真空ラインと、前記試料室内に挿入される可動軸を有し該室内の真空度を低下させることなく直線または回転運動を与えて試料を破砕する手段と、破砕された試料より脱離した気体成分を質量分析計に導入する手段とを備えることを特徴とする質量分析装置における気体導入装置。

IPC (2)：

H01J 49/04 ,  G01N 27/62