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J-GLOBAL ID：200903023016760590

Y123型結晶構造を有する酸化物結晶膜及び膜積層体

Inventor： 山田 容士 ,  田上 稔 ,  中村 優 ,  堺 英樹 ,  上原 浩一 ,  塩原 融 ,  田中 昭二
Applicant, Patent owner： 財団法人国際超電導産業技術研究センター ,  旭硝子株式会社 ,  石川島播磨重工業株式会社 ,  三菱電線工業株式会社 ,  株式会社ジャパンエナジー ,  京セラ株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993108569
Publication number (International publication number)：1994321695
Application date： May. 10, 1993
Publication date： Nov. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 結晶性の良いY123型結晶構造を有する酸化物結晶膜又は結晶性の良いY123型結晶構造を有した二種以上の酸化物結晶により構成される膜積層構造体を得る。【構成】 本発明の酸化物結晶膜は、Y123型結晶構造を有したバルクの酸化物結晶基板の表面に形成された123型結晶構造を有する。本発明の酸化物結晶膜積層体は、Y123型結晶構造を有したバルクの酸化物結晶基板の表面に形成されたY123型結晶構造を有する酸化物結晶膜を二層以上積層した。

Claim (excerpt)：

Y123型結晶構造を有したバルクの酸化物結晶基板の表面に形成されたY123型結晶構造を有することを特徴とする酸化物結晶膜。

IPC (3)：

C30B 29/22 501 ,  C01G 1/00 ,  H01L 39/02 ZAA

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭63-310799