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J-GLOBAL ID：200903023024320788

ホットプレートユニット

Inventor： 杉本 圭三 ,  伊藤 康隆
Applicant, Patent owner： イビデン株式会社
Agent (1)： 安富 康男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001123273
Publication number (International publication number)：2002319475
Application date： Apr. 20, 2001
Publication date： Oct. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 腐食性ガス雰囲気下で使用した場合にも、パーティクル汚染が発生したり、付属品の腐食等に起因して電流の供給がストップすることがなく、安定的に半導体ウエハ等の被加熱物を加熱することができるホットプレートユニットを提供すること。【解決手段】 セラミック基板の内部に抵抗発熱体が形成されたセラミックヒータを含んで構成されたホットプレートユニットであって、上記セラミック基板の周囲にはコイルが配設されていることを特徴とするホットプレートユニット。

Claim (excerpt)：

セラミック基板の内部に抵抗発熱体が形成されたセラミックヒータを含んで構成されたホットプレートユニットであって、前記セラミック基板の周囲にはコイルが配設されていることを特徴とするホットプレートユニット。

IPC (5)：

H05B 3/20 393 ,  C23C 16/46 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/68 ,  H05B 6/10 331

FI (5)：

H05B 3/20 393 ,  C23C 16/46 ,  H05B 3/18 ,  H05B 3/68 ,  H05B 6/10 331

F-Term (41)：

3K034AA02 ,  3K034AA04 ,  3K034AA06 ,  3K034AA12 ,  3K034AA19 ,  3K034AA21 ,  3K034AA34 ,  3K034BC04 ,  3K034BC17 ,  3K034DA01 ,  3K034DA04 ,  3K034HA01 ,  3K034HA10 ,  3K034JA01 ,  3K059AB27 ,  3K059AB28 ,  3K059AC07 ,  3K059AC09 ,  3K059AC33 ,  3K059AC54 ,  3K059AD38 ,  3K059CD64 ,  3K059CD73 ,  3K059CD77 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB08 ,  3K092QB26 ,  3K092QB44 ,  3K092QB48 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF27 ,  3K092UA01 ,  3K092UA05 ,  3K092UB02 ,  3K092VV09 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030KA24