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J-GLOBAL ID：200903023036514316

紫外および真空紫外領域の反射防止基体

Inventor： 高木 悟 ,  岡田 要 ,  菊川 信也
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000334220
Publication number (International publication number)：2001194506
Application date： Nov. 01, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】紫外および真空紫外領域において、表面反射による損失やフレア・ゴーストの発生を抑制し、高い光透過率を有し、ペリクル用基板等に好適な反射防止基体の提供。【解決手段】紫外および真空紫外領域で透明な基体の少なくとも一つの面に1層からなる反射防止膜を有し、紫外または真空紫外の反射防止中心波長をλ<SB>0 </SB>とし、波長λ<SB>0 </SB>における基体の屈折率n<SB>s </SB>、波長λ<SB>0 </SB>における反射防止膜の屈折率n<SB>1 </SB>および反射防止膜の幾何学的膜厚d<SB>1 </SB>とすると、n<SB>1 </SB><n<SB>s </SB>、かつn<SB>1 </SB>d<SB>1</SB>がほぼ(1/4+m/2)λ<SB>0 </SB>(mは0以上の整数)に等しいことを特徴とする反射防止基体。

Claim (excerpt)：

波長155nm〜200nmの紫外および真空紫外領域で透明な基体の少なくとも一つの面に1層からなる反射防止膜を有する反射防止基体であって、反射防止を要する紫外または真空紫外の波長領域の中心波長をλ<SB>0 </SB>とし、波長λ<SB>0 </SB>における基体の屈折率n<SB>s </SB>、波長λ<SB>0 </SB>における反射防止膜の屈折率n<SB>1 </SB>および反射防止膜の幾何学的膜厚d<SB>1 </SB>とすると、n<SB>1 </SB><n<SB>s </SB>、かつn<SB>1 </SB>d<SB>1 </SB>がほぼ(1/4+m/2)λ<SB>0 </SB>(mは0以上の整数)に等しいことを特徴とする紫外および真空紫外領域の反射防止基体。

IPC (6)：

G02B 1/11 ,  C03C 17/34 ,  G03F 1/14 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (6)：

C03C 17/34 Z ,  G03F 1/14 J ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 1/10 A ,  H01L 21/30 515 D