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J-GLOBAL ID：200903023071172320
表面伝導型電子放出素子、それを用いた電子源、画像形成装置及びこれらの製造方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
豊田 善雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996179800
Publication number (International publication number)：1998012140
Application date： Jun. 21, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：
【要約】【課題】 導電性膜に良好な電子放出部を形成できなかった。【解決手段】 素子電極2,3間に形成した導電性膜4の粒径を検査して、その検査結果に基づいて、フォーミング処理のパルス幅を変更する。
Claim (excerpt)：
基板上に素子電極を形成すると共に素子電極間を連絡する導電性膜を形成する工程と、導電性膜の粒径を検査する粒径検査工程と、導電性膜に電子放出部を形成するフォーミング工程とを有し、粒径検査結果に応じて、フォーミング工程のフォーミング処理のパルス幅を変更することを特徴とする表面伝導型電子放出素子の製造方法。
IPC (3)：
H01J 9/02
, H01J 1/30
, H01J 31/12
H01J 9/02 B
, H01J 1/30 B
, H01J 31/12 C
