Pat
J-GLOBAL ID：200903023108110398
ウエハーの研磨装置
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993161211
Publication number (International publication number)：1995009321
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Jan. 13, 1995
Summary：
【要約】【目的】 装置の構造およびその動作制御が複雑になることなく、ウエハーの外周部を精度良く且つ効率良く研磨する。【構成】 一定の回転角度で間欠回転する回転基体10と、回転基体10に周方向に等間隔に配置された複数の揺動アーム22と、揺動アーム22の一端側に設けられ、ウエハーを保持する保持装置24と、回転基体10の各停止位置における揺動アーム22に対応して配設された、ウエハーのローダーステーション26、回転研磨部を有するウエハーの第1及び第2研磨ステーション28、34、ウエハーのアンローダーステーション40と、研磨ステーション28、34において研磨ステーション28、34に回転位置している揺動アーム22を回動して保持装置24に保持されているウエハーの外周を回転研磨部29、35の研磨面に押圧させる揺動アームのエアシリンダ装置30、36とを具備する。
Claim (excerpt)：
一定の回転角度で間欠回転する回転基体と、該回転基体に周方向に等間隔に配置された複数の揺動アームと、該揺動アームの一端側に設けられ、ウエハーを保持する保持装置と、回転基体の各停止位置における揺動アームに対応して配設された、ウエハーのローダーステーション、回転研磨部を有するウエハーの研磨ステーション、ウエハーのアンローダーステーションの少なくとも3ステーションと、前記研磨ステーションにおいて該研磨ステーションに回転位置している揺動アームを回動して保持装置に保持されているウエハーの外周を回転研磨部の研磨面に押圧させる揺動アームの揺動装置とを具備することを特徴とするウエハーの研磨装置。
IPC (3)：
B24B 29/00
, B24B 9/00
, B24B 29/02
