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J-GLOBAL ID：200903023119412221

樹脂薄膜の製造方法

Inventor： 樫田 周 ,  久保田 芳宏 ,  永田 愛彦 ,  野口 仁
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991198478
Publication number (International publication number)：1993016159
Application date： Jul. 12, 1991
Publication date： Jan. 26, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はリソグラフイ-用マスクのペリクル、各種ガス分離膜、光学機器窓材などとして有用とされる樹脂薄膜を生産性高く製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による樹脂薄膜の製造方法は、1)膜形成能を有する樹脂溶解液をロ-ルコ-タ-により基材に塗布する第1工程、2)塗布した樹脂溶解層の溶媒を蒸発除去する第2工程、3)溶媒を除去して得た樹脂薄膜を基材より剥離する第3工程、とよりなることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

1)膜形成能を有する樹脂溶解液をロ-ルコ-タ-により基材に塗布する第1工程、2)塗布した樹脂溶解層の溶媒を蒸発除去する第2工程、3)溶媒を除去して得た樹脂薄膜を基材より剥離する第3工程、とよりなることを特徴とする樹脂薄膜の製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-041329
  
• 特開昭63-021115
  
• 特開昭55-137924
  
• 特開昭60-035733