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J-GLOBAL ID：200903023126280918

プローブカードおよびこれを用いたIC試験装置

Inventor： 西浦 孝英
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 前田 均 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999158891
Publication number (International publication number)：2000346875
Application date： Jun. 07, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】プローブカードの熱変形による接触信頼性の低下を防止するとともにスループットを高めることができるIC試験装置用プローブカードを提供する。【解決手段】IC試験装置のテストヘッド1の基板に電気的に接続され、ウェハWに電気的に接触する複数のニードル211が一主面に設けられたプローブカード2であり、プローブカードの基板20に発熱パターン26が設けられている。

Claim (excerpt)：

IC試験装置のテストヘッド基板に電気的に接続され、被試験物に電気的に接触する複数の針状接点が一主面に設けられたIC試験装置用プローブカードにおいて、前記プローブカードの基板に発熱体が設けられていることを特徴とするIC試験装置用プローブカード。

IPC (5)：

G01R 1/073 ,  G01R 1/06 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66

FI (6)：

G01R 1/073 E ,  G01R 1/06 E ,  G01R 31/26 H ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B ,  G01R 31/28 K

F-Term (39)：

2G003AA07 ,  2G003AA10 ,  2G003AB01 ,  2G003AC03 ,  2G003AD03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG10 ,  2G003AG12 ,  2G003AG16 ,  2G003AG20 ,  2G003AH04 ,  2G011AA02 ,  2G011AA17 ,  2G011AB10 ,  2G011AC06 ,  2G011AC14 ,  2G011AC21 ,  2G011AE03 ,  2G011AF06 ,  2G032AB01 ,  2G032AB13 ,  2G032AE03 ,  2G032AE11 ,  2G032AF02 ,  2G032AK03 ,  2G032AL03 ,  2G032AL11 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106CA60 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04 ,  4M106DD10 ,  4M106DD13 ,  4M106DD16 ,  4M106DD30 ,  4M106DJ02

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-359445
  
• 特開平4-359445