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J-GLOBAL ID：200903023154950988

インクジェットヘッドの製造方法

Inventor： 中澤 明 ,  児玉 淳 ,  三宅 裕子 ,  北川 博紀 ,  三田 剛
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 柏谷 昭司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993225378
Publication number (International publication number)：1995081071
Application date： Sep. 10, 1993
Publication date： Mar. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 インクジェットヘッドの製造方法に関し、ペースト状材料の印刷焼成により形成される圧電素子の形状を立方体状にすることのできるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【構成】 圧力室22を覆う振動板21a上に下部電極26を形成した後、該下部電極26上に凹凸パターン27を形成し、該凹凸パターン27の凹部27aに圧電素子ペーストを充填し焼成することにより圧電素子28を形成することを特徴とする構成とする。

Claim (excerpt)：

インクの供給を受ける圧力室(22),該圧力室(22)に連通するノズル(25),及び該圧力室(22)に接する振動板(21a)を備え、該振動板(21a)上に、下部電極(26),上部電極(29)が接続する圧電素子(28)が形成されたインクジェットヘッドの製造方法において、前記振動板(21a)上に前記下部電極(26)を形成した後、該下部電極(26)上に凹凸パターン(27)を形成し、該凹凸パターン(27)の凹部(27a)に圧電素子ペーストを充填し焼成することにより圧電素子(28)を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。

IPC (3)：

B41J 2/16 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (2)：

B41J 3/04 103 H ,  B41J 3/04 103 A