物体検出方法及びこれを用いた物体検出素子

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：岡田敬
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994228203
Publication number (International publication number)：1996096262
Application date： Sep. 22, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】【目的】光の分岐、集光が小型で、且つ複数の走行路を持つ光を用いる物体検出方法及びそれを用いた素子を提供することにある。【構成】光源(1)と、該光源(1)から出射された光を複数の走行路に分離する分離手段(2)と、それら光が照射される被照射物体(4)と、該被照射物体からの反射光を検出する検出手段(6)と、から成っており、上記被照射物体に上記複数に分離された光の少なくとも1つを照射し、その被照射物体からの反射光の変動に因り、上記被照射物体を検出する検出方法である。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源から出射された光を複数の走行路に分離する分離手段と、それら光が照射される被照射物体と、該被照射物体からの反射光を検出する検出手段と、から成る物体検出方法であって、上記被照射物体に上記複数に分離された光の少なくとも1つを照射し、その被照射物体からの反射光の変動に因り、上記被照射物体を検出することを特徴とする物体検出方法。

IPC (6)：

G08B 13/181 , G01J 9/00 , G01N 21/47 , G01V 8/10 , G01V 8/12 , H01L 21/66

FI (2)：

G01V 9/04 U , G01V 9/04 H

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

特開平2-031296

Cited by examiner (16)

特開平2-031296
特開平2-031296
特開平2-031296

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