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J-GLOBAL ID：200903023178038937

表面欠陥検査装置

Inventor： 広野 歩 ,  木村 哲也
Applicant, Patent owner： 富士ゼロックス株式会社
Agent (1)： 平田 忠雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995269654
Publication number (International publication number)：1997113463
Application date： Oct. 18, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 高精度かつ短時間でコストを抑えながら表面欠陥を検出すること。【解決手段】 スリット光光源1からスリット光3を被検査体4に照射してラインセンサ8で走査することにより得られる受光信号に基づいて被検査体4の表面の欠陥候補部分を設定し、この欠陥候補部分にスリット光光源1からスリット光3を照射してラインセンサ8で走査することにより得られる受光信号に基づいて表面欠陥の立体形状の特徴量を算出して被検査体4の良否判定を行う。

Claim (excerpt)：

ロールあるいはロール状に巻かれたシート等の被検査体の表面に照射光を走査して得られる反射光を受光し、前記反射光の受光信号に基づいて前記被検査体の表面に存在する表面欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表面に前記照射光を出射する光源と、前記被検査体の表面に前記光源から前記照射光を出射してその反射光を受光する第1の受光手段と、前記第1の受光手段より出力される受光信号に基づいて前記被検査体上に存在する表面欠陥候補の位置を算出する第1の特徴量算出手段と、前記表面欠陥候補の位置に前記光源から前記照射光を出射してその反射光を受光する第2の受光手段と、前記第2の受光手段より出力される受光信号に基づいて前記表面欠陥の立体形状に基づく特徴量を算出する第2の特徴量算出手段と、前記第2の特徴量に基づいて前記被検査体の良否の判定を行う良否判定手段とを有することを特徴とする表面欠陥検査装置。

IPC (4)：

G01N 21/89 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/30 ,  G01N 21/88

FI (4)：

G01N 21/89 A ,  G01B 11/24 G ,  G01B 11/30 E ,  G01N 21/88 J