半導体装置およびその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐藤隆久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001062499
Publication number (International publication number)：2002270795
Application date： Mar. 06, 2001
Publication date： Sep. 20, 2002
Summary：

【要約】【課題】メモリセル領域と論理回路領域と他の回路領域の特性がそれぞれ最適化されて、同一基板上に混載された半導体装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】論理回路領域(領域3)にゲート絶縁膜およびシリコン層を形成する工程と、メモリセル領域(領域1)と他の回路領域(領域2)に厚くゲート絶縁膜を形成する工程と、領域1、2にポリサイドゲート電極を形成する工程と、領域3のシリコン層を加工してゲート電極を形成する工程と、領域1〜3に不純物拡散層を形成する工程と、領域1〜3のゲート電極側面に絶縁膜サイドウォールを形成する工程と、領域2の拡散層、領域3のゲート電極および不純物拡散層表面をシリサイド化する工程と、領域1に自己整合コンタクトおよびキャパシタ素子を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法、およびそれにより製造される半導体装置。

Claim (excerpt)：

半導体基板表面に形成された第1〜第3領域と、前記第1および第2領域の前記半導体基板上に形成された第1のゲート絶縁膜と、前記第1のゲート絶縁膜上に順に積層された、シリコン層および金属シリサイド層を含む複数の第1のゲート電極と、前記第1のゲート電極上に形成された第1の絶縁膜と、前記第1のゲート電極の側面および前記第1の絶縁膜の側面に形成された第2の絶縁膜と、前記第1領域の前記半導体基板表層に、前記第1のゲート電極に自己整合的に複数形成された第1の不純物拡散層と、前記第2領域の前記半導体基板表層に、前記第1のゲート電極に自己整合的に複数形成された第2の不純物拡散層と、前記第3領域の前記半導体基板上に形成された、前記第1のゲート絶縁膜よりも薄い第2のゲート絶縁膜と、前記第2のゲート絶縁膜上に形成された、主にシリコンからなる第2のゲート電極と、前記第2のゲート電極の側面に形成された前記第2の絶縁膜と、前記第3領域の前記半導体基板表層に、前記第2のゲート電極に自己整合的に複数形成された第3の不純物拡散層と、前記第2の不純物拡散層の表面、前記第2のゲート電極上、および前記第3の不純物拡散層の表面に自己整合的に形成されたシリサイド層と、前記第1〜第3領域を被覆する層間絶縁膜と、前記第1領域の前記第1ゲート電極間の前記層間絶縁膜に、前記第2の絶縁膜に自己整合的に形成された自己整合コンタクトと、少なくとも前記自己整合コンタクトを介して前記第1の不純物拡散層に接続するように、前記層間絶縁膜上に形成されたキャパシタ素子とを有する半導体装置。

IPC (6)：

H01L 27/108 , H01L 21/8242 , H01L 21/28 301 , H01L 21/28 , H01L 21/8238 , H01L 27/092

FI (6)：

H01L 21/28 301 D , H01L 21/28 301 T , H01L 27/10 681 F , H01L 27/08 321 F , H01L 27/08 321 D , H01L 27/10 621 C

F-Term (74)：

4M104BB01 , 4M104BB14 , 4M104CC05 , 4M104DD02 , 4M104DD04 , 4M104DD19 , 4M104DD26 , 4M104DD37 , 4M104DD43 , 4M104DD65 , 4M104EE09 , 4M104EE17 , 4M104FF08 , 4M104FF13 , 4M104FF14 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG16 , 4M104GG19 , 4M104HH04 , 5F048AB01 , 5F048AC01 , 5F048AC03 , 5F048AC10 , 5F048BA01 , 5F048BB01 , 5F048BB06 , 5F048BB07 , 5F048BB08 , 5F048BB10 , 5F048BB12 , 5F048BB16 , 5F048BC06 , 5F048BE02 , 5F048BE03 , 5F048BF03 , 5F048BF06 , 5F048BF07 , 5F048BF11 , 5F048BG12 , 5F048BG13 , 5F048DA25 , 5F048DA27 , 5F048DA30 , 5F083AD24 , 5F083AD48 , 5F083AD49 , 5F083AD62 , 5F083JA33 , 5F083JA35 , 5F083JA39 , 5F083JA40 , 5F083JA53 , 5F083JA56 , 5F083LA07 , 5F083MA03 , 5F083MA06 , 5F083MA16 , 5F083MA17 , 5F083MA19 , 5F083MA20 , 5F083PR06 , 5F083PR12 , 5F083PR29 , 5F083PR38 , 5F083PR40 , 5F083PR43 , 5F083PR44 , 5F083PR53 , 5F083PR54 , 5F083ZA05 , 5F083ZA06 , 5F083ZA07 , 5F083ZA12

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