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J-GLOBAL ID：200903023232081436
集光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992204022
Publication number (International publication number)：1993196896
Application date： Jul. 30, 1992
Publication date： Aug. 06, 1993
Summary：
【要約】【目的】この発明の目的は、中心ビ-ムスポット及びサイドローブ強度を低減できる集光光学系を提供することにある。【構成】この発明の集光素子10は、表面10f (または裏面10r) の一部に、自身に入射される光が通過する光路長を変化させることで、少なくとも3領域に波面分割できる突出部10bを有している。即ち、上記集光素子10は、上記突出部10bに対して相対的に凹部となる領域10a,10c及び上記突出部10bによって、3領域構造アポダイザを形成する。この集光素子10を通過された光は、それぞれの領域に応じて集束され、或いは、位相が反転されて、所望の位置に配置される結像面上に結像される。この場合、結像された光のビ-ムスポットは、十分に集束される。また、上記ビ-ムスポットの周辺に生じるサイドロ-ブは、十分に低減される。
Claim (excerpt)：
入射された光を波面分割するための少なくとも3つの光分割領域を有し、それぞれの領域に入射される光に対し、互いに隣接する領域毎に異なる光学特性を与える集光装置。
IPC (3)：
G02B 27/58
, G02B 27/00
, G11B 7/135
