Pat

J-GLOBAL ID：200903023240758852

分子配向有機膜の製造法

Inventor： 山田 公 ,  竹内 大輔
Applicant, Patent owner： 新技術事業団
Agent (1)： 西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994317326
Publication number (International publication number)：1996176803
Application date： Dec. 20, 1994
Publication date： Jul. 09, 1996
Summary：

【要約】【構成】 イオン化した分子に加速電圧を加えて基板との相互作用を制御し、交互に積層蒸着させて配向性を向上させることにより有機膜を製造する。【効果】 再現性の高い液晶配向膜の作製や次世代のLSIにおける超平坦な界面の形成、極めて薄い絶縁膜の形成、分子デバイスへの応用が可能である。

Claim (excerpt)：

複数のイオン化した分子を基板上に交互に積層蒸着させて配向性有機膜を形成することを特徴とする分子配向有機膜の製造法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-166528
  
• 特開平1-291224
  
• 特開平4-178434
  
• カーボン薄膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-087903   Applicant：三菱電線工業株式会社