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J-GLOBAL ID：200903023259089609
共振周波数可変型共振子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994040557
Publication number (International publication number)：1995226648
Application date： Feb. 15, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 発振回路のQを高め、高感度で、かつ、超小型の共振周波数可変型共振子を提供する。【構成】 Si基板1の表面に振動薄膜2を形成し、この振動薄膜2上に下部電極4と圧電膜5と上部電極3とを順に積層した多層構造の振動部を形成する。この振動部の下側に絶縁膜として機能する振動薄膜2の下側に受動電極11を形成し、この受動電極11の対向側(下側)にエアギャップ9を介して静電駆動電極12を配設する。前記受動電極11と静電駆動電極12間に直流電圧を印加して振動部を静電力によって引っ張り、曲がり変形により振動部の寸法を変化し、印加電圧を調整することにより、振動部の寸法を調整して共振子10aの共振周波数を可変する。
Claim (excerpt)：
振動薄膜上に下部電極と圧電薄膜と上部電極とを順に積層した多層構造の振動部を有する圧電薄膜共振子において、前記多層構造の振動部の上下の少なくとも一方側に受動電極を形成し、この受動電極の対向側にはエアギャップを介して前記受動電極に静電力を印加する静電駆動電極を配設したことを特徴とする共振周波数可変型共振子。
IPC (3)：
H03H 9/17
, H03H 3/04
, H03H 9/02
