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J-GLOBAL ID：200903023298004785
配線容量解析方法及び配線容量解析装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
亀谷 美明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998060660
Publication number (International publication number)：1999242694
Application date： Feb. 25, 1998
Publication date： Sep. 07, 1999
Summary：
【要約】【課題】 配線間隔及び配線幅に応じて変換差を求めることが可能な配線容量解析方法及び配線容量解析装置を提供する。【解決手段】 配線容量解析方法は,配線の長さ,配線の幅,及び配線の間隔からなる配線データ11を配線容量解析装置10に入力する工程と,配線の幅及び配線の間隔を修正するための変換差テーブル13を配線容量解析装置に入力する工程と,配線の長さ及び配線の幅から配線の面積を計算する工程と,配線の単位面積当たりの容量係数を配線容量解析装置に入力する工程と,配線の長さから配線の周囲長を計算する工程と,配線の単位長さ当たりの容量係数を配線容量解析装置に入力する工程と,配線の面積,配線の単位面積当たりの容量係数,配線の周囲長,配線の単位長さ当たりの容量係数,及び配線の間隔から配線容量を計算する工程とを含む。変換差テーブルは配線の間隔及び配線の幅を独立変数とする。
Claim (excerpt)：
基板上に形成する配線の配線容量解析方法であって,配線の長さ,配線の幅,及び配線の間隔を解析装置に入力する工程と,前記配線の幅及び配線の間隔を補正するための変換差を前記解析装置に入力する工程と,前記配線の長さ及び配線の幅から配線の面積を計算する工程と,配線の単位面積当たりの容量係数を前記解析装置に入力する工程と,前記配線の長さから配線の周囲長を計算する工程と,配線の単位長さ当たりの容量係数を前記解析装置に入力する工程と,前記配線の面積,配線の単位面積当たりの容量係数,配線の周囲長,配線の単位長さ当たりの容量係数,及び配線の間隔から配線容量を計算する工程と,を含むことを特徴とする,配線容量解析方法。
IPC (2)：
FI (3)：
G06F 15/60 666 A
, H01L 21/82 W
, H01L 21/82 C
