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J-GLOBAL ID：200903023302794486

走査トンネル顕微鏡

Inventor： 小池 和幸 ,  古川 貴司 ,  中塚 慎一
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992305134
Publication number (International publication number)：1994160501
Application date： Nov. 16, 1992
Publication date： Jun. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 試料の磁化の試料面法線方向成分の分布を、原子オ-ダ-の分解能で観察できる装置を提供すること。【構成】 チップ3、励起光源1、試料4、試料の位置を3次元的に制御するピエゾ素子5からなり、励起光源1からの円偏光2を上方からチップ3に照射し、チップ先端のGaAs内部に、スピンが上下方向に揃った偏極電子を生成する。この電子を強磁性体試料4に注入すると、磁化の試料面法線方向成分に応じてトンネル電流が変化する。この変化分を画像信号として磁区像を得る。

Claim (excerpt)：

円偏光励起によってチップ内に生成された偏極電子を試料に注入する走査トンネル顕微鏡において、チップの先端とは逆側から該チップに円偏光を照射することを特徴とする走査トンネル顕微鏡。

IPC (3)：

G01R 33/10 ,  G01R 33/12 ,  H01J 37/28