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J-GLOBAL ID:200903023304286836

光部品検査装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 谷 義一 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994158908
Publication number (International publication number):1996029290
Application date: Jul. 11, 1994
Publication date: Feb. 02, 1996
Summary:
【要約】【目的】 一連の測定の途中に人手を介することなく、多数の光部品の各種光学特性を自動測定する光学特性検査方法および装置を提供する。【構成】 光源16等と;光部品10の前記入力ポートの中から任意の1ポートを選択して入力ポートとする入力ポート切替器12と;光部品10の前記出力ポートの中から任意の1ポートを選択して第1または第2のポートに接続する出力ポート切替器13と;光源からの光を2つに分岐して一方の分岐ポートが前記各入力ポートに接続される光スプリッタ14と;これらの光スプリッタ14の他方の分岐ポートの中から任意の1ポートを選択して参照光ポートとする参照光ポート切替器15と;光検出器24と;参照光検出器25と;前記光源からの光を前記入力ポート切替器12の前記入力ポートまたは前記出力ポート切替器13の前記第2のポートに切り替え接続する光源切替器20とを設ける。
Claim (excerpt):
1個または複数の光入力ポートと1個または複数の光出力ポートとを有する光部品を1個または複数個接続して、前記光部品の各種光学特性を自動測定する装置であって、光源と、前記光部品の前記入力ポートに接続され、当該入力ポートの中から任意の1ポートを選択して入力ポートとする入力ポート切替器と、前記光部品の前記出力ポートに接続され、当該出力ポートの中から任意の1ポートを選択して第1または第2のポートに接続する出力ポート切替器と、前記入力ポート切替器と前記光部品の各入力ポートとの間に配置され、前記光源からの光を2つに分岐して一方の分岐ポートが前記各入力ポートに接続される光スプリッタと、これらの光スプリッタの他方の分岐ポートにそれぞれ接続され、当該各分岐ポートの中から任意の1ポートを選択して参照光ポートとする参照光ポート切替器と、前記出力ポート切替器の前記第1のポートに接続される光検出器と、前記参照光ポート切替器の前記参照光ポートに接続される参照光検出器と、前記光源と前記入力ポート切替器との間に配置され、前記光源からの光を前記入力ポート切替器の前記入力ポートまたは前記出力ポート切替器の前記第2のポートに切り替え接続する光源切替器、とを具備することを特徴とする光部品検査装置。
IPC (2):
G01M 11/00 ,  G01N 21/17
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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