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J-GLOBAL ID：200903023304963900
静電容量型圧力センサ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
後藤 洋介 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996174684
Publication number (International publication number)：1998019709
Application date： Jul. 04, 1996
Publication date： Jan. 23, 1998
Summary：
【要約】【課題】 正確な圧力検出を行うことのできること。【解決手段】 電極部16が形成された第1の基板12と、圧力に応じて変形するダイアフラム部13が形成された第2の基板11とを有し、前記ダイアフラム部13と前記電極部16とがギャップをおいて互いに対向する関係となるようなキャビティー部14を設けて前記第1及び前記第2の基板12、11とが接合されたセンサチップ15を備え、前記キャビティー部内を密閉した密閉部材31を有している。
Claim (excerpt)：
電極部が形成されている第1の基板と、圧力に応じて変形するダイアフラム部が形成されている第2の基板とを有し、前記ダイアフラム部と前記電極部とがギャップをもって互いに対向する関係となるキャビティー部を設け、前記第1及び前記第2の基板とが接合されたセンサチップを備え、前記ダイアフラム部に加わる被測定圧力と前記キャビティー部内の圧力との圧力差に応じて前記ギャップのギャップ幅を変化させて該ギャップ幅の変化による前記ダイアフラム部と前記電極部との間の静電容量の変化によって前記圧力差を検出するようにした静電容量型圧力センサにおいて、前記キャビティー部内を密閉した密閉部材を有していることを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2)：
FI (2)：
G01L 13/06 C
, H01L 29/84 Z
