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J-GLOBAL ID：200903023330233660

ジャイロ装置及びそのクロストーク低減方法

Inventor： 加藤 良隆
Applicant, Patent owner： 株式会社村田製作所
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000118262
Publication number (International publication number)：2001304866
Application date： Apr. 19, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：

【要約】【課題】 角速度検出素子を用いて回路構成をしたとき、角速度検出素子の振動体を駆動する駆動信号が出力側に漏洩して誤動作する虞があった。【解決手段】 角速度検出素子1を駆動する駆動手段を駆動制御回路3aと駆動信号調整回路6で構成し、駆動信号調整回路6は2つの演算増幅器61,62で構成する。演算増幅器62のバイアス抵抗62dを可変して演算増幅器62の増幅率を調整し、2つの演算増幅器61,62から駆動電極部12,13に印加する180度位相の異なる2つの駆動信号の振幅比を調整し、駆動信号の漏洩電圧を最小にする。

Claim (excerpt)：

振動体と、この振動体を振動可能に支持する支持手段と、振動体を180度位相の異なる2つの駆動信号で駆動し且つ2つの駆動電極部を備える駆動手段と、振動体に加わるコリオリ力に基づく振動体の変位を静電容量の変化として検出する検出手段と、この検出手段に於ける静電容量の変化を電圧変化に変換する容量電圧変換回路とを備えたジャイロ装置に於いて、前記駆動手段に2つの駆動信号の振幅比を調整する駆動信号調整回路を設けたことを特徴とするジャイロ装置。

IPC (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

F-Term (14)：

2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105AA10 ,  2F105BB07 ,  2F105BB20 ,  2F105CC04 ,  2F105CD03 ,  2F105CD05 ,  2F105CD11 ,  4M112AA02 ,  4M112BA07 ,  4M112CA24 ,  4M112CA26 ,  4M112GA03