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J-GLOBAL ID：200903023366072913

光導波路の作製方法

Inventor： 武下 清和
Applicant, Patent owner： 大日本印刷株式会社
Agent (8)： 韮澤 弘 ,  阿部 龍吉 ,  蛭川 昌信 ,  白井 博樹 ,  内田 亘彦 ,  菅井 英雄 ,  青木 健二 ,  米澤 明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002259566
Publication number (International publication number)：2004101585
Application date： Sep. 05, 2002
Publication date： Apr. 02, 2004
Summary：

【課題】フェムト秒レーザ光により透明体中に形成される微細空洞を利用して立体的な光導波路を透明体中に作製する新規な方法。【解決手段】1ピコ秒より短いパルスレーザ光2を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板1中に集光照射して微細空洞5を形成し、その微細空洞5を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔6を形成し、形成された連通孔6中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板1中に光導波路を形成する。この場合に、隣接する微細空洞5をその半径d/2以下の間隔Lで連続的に形成することにより連通孔6を形成する。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

1ピコ秒より短いパルスレーザ光を多光子吸収によりマイクロエックスプロージョンを起こして微細空洞を形成可能な透明基板中に集光照射して微細空洞を形成し、その微細空洞を相互に連通するように連続的に形成して所定形状の連通孔を形成し、形成された連通孔中に透明基板より屈折率の大きい透明媒質を充填することにより透明基板中に光導波路を形成することを特徴とする光導波路の作製方法。

IPC (1)：

G02B6/13

FI (1)：

G02B6/12 M

F-Term (7)：

2H047KA03 ,  2H047PA15 ,  2H047PA22 ,  2H047PA24 ,  2H047QA04 ,  2H047QA05 ,  2H047TA41