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J-GLOBAL ID：200903023366984912

振動アクチュエータの駆動装置

Inventor： 権田 常躬
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997170166
Publication number (International publication number)：1999018456
Application date： Jun. 26, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 複数の振動アクチュエータの駆動をフィードバック制御するにあたり、安価に、コンパクトに、バランス良く、効率良く行うことを可能とする振動アクチュエータの駆動装置を提供することにある。【解決手段】 複数の振動アクチュエータ1A、1Bのそれぞれの振動状態をモニタする振動モニタ用圧電素子からの出力信号を平均化して平均値信号を生成し、この平均値信号をフィードバック量として複数の振動アクチュエータの駆動をフィードバック制御する。

Claim (excerpt)：

周波信号を入力して振動を発生させることで駆動力を得る振動子と、該振動子の振動状態を検出する振動検出手段と、前記振動子に接触し前記駆動力により該振動子との間で相対運動を行う相対運動部材とを備えた振動アクチュエータを、複数個駆動する振動アクチュエータの駆動装置において、前記複数の振動アクチュエータのそれぞれの前記振動検出手段からの出力を演算して制御信号を生成する制御信号生成手段と、前記制御信号に基づいて、前記複数の振動アクチュエータのそれぞれの振動子に印加するための共通の周波信号を制御する制御手段とを備えることを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。