ケース

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：金山聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999224449
Publication number (International publication number)：2001053136
Application date： Aug. 06, 1999
Publication date： Feb. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等を製品として、これを保管、搬送する際に、その表面部に経時変化を起こさない、保管、搬送用のケース(ボックス)を提供する。【解決手段】フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケース(ボックス)であって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部(インジエクター)を備えており、密封した後に、充填部(インジエクター)にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部(インジエクター)にて充填される不活性なガスを、ケース(ボックス)内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けている。

Claim (excerpt)：

フォトマスク、マスクブランクス、ガラス基板、ウエハ等の薄板状の製品を、1枚づつ、その端部にて保持して、搬送、保管を行う、ケースであって、底部に固定された製品固定部に、製品をその端部にて保持した状態で、蓋部と底部とを合わせることにより密封するもので、底部には、インレット部、アウトレット部からなる、不活性なガスを充填するための充填部を備えており、密封した後に、充填部にて不活性なガスを充填した状態として、搬送、保管を行うもので、底部に備えられた充填部にて充填される不活性なガスを、ケース内に拡散して導くための、底部に保持された拡散部を設けていることを特徴とするケース。

IPC (2)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

F-Term (27)：

3E096AA01 , 3E096BA15 , 3E096BA16 , 3E096CA02 , 3E096DA01 , 3E096DA03 , 3E096DA17 , 3E096DA25 , 3E096DA30 , 3E096DC02 , 3E096FA03 , 3E096FA15 , 3E096FA22 , 3E096GA05 , 3E096GA09 , 3E096GA11 , 3E096GA13 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031CA07 , 5F031DA12 , 5F031EA12 , 5F031EA14 , 5F031EA16 , 5F031EA19 , 5F031JA49 , 5F031NA04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

密閉コンテナ並びに密閉コンテナ用雰囲気置換装置及び雰囲気置換方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-145922 Applicant：ソニー株式会社

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