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J-GLOBAL ID：200903023383902199

走査型電子顕微鏡およびそれによる欠陥部位解析方法

Inventor： 中垣 亮 ,  高木 裕治 ,  下田 篤 ,  小原 健二 ,  小沢 康彦 ,  馬場 英花 ,  磯貝 静志 ,  渡辺 健二 ,  宍戸 千絵
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998296481
Publication number (International publication number)：2000123771
Application date： Oct. 19, 1998
Publication date： Apr. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】いかなる被対象基板をいかなる倍率で撮像する場合であっても、自動で、得られたデジタル画像に擬似的なノイズを発生させることなく正確に撮像して欠陥部位の位置を特定して該欠陥部位に対して欠陥部位の特徴量またはその性質を解析することのできる走査型電子顕微鏡およびそれによる欠陥部位解析方法を提供することにある。【解決手段】本発明は、A/D変換部116から広い撮像視野に基づく低倍率のデジタル画像信号と狭い撮像視野に基づく高倍率のデジタル画像信号とが切り替えられて得られるように少なくとも走査手段104を切り替えて制御する切り替え制御部108と、該切り替え制御部によって切り替えて制御する際、被対象基板の表面における電子ビームのスポット径を切り替えて制御するビームスポット径制御部203、106、110、105、109、101とを備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡およびおよびそれによる欠陥部位解析方法である。

Claim (excerpt)：

被対象基板を載置するステージと、電子ビームを出射する電子銃と、該電子銃から出射された電子ビームを収束する収束レンズと、該収束レンズで収束される電子ビームを前記被対象基板の表面に2次元に走査させる走査手段と、該収束レンズによって収束される電子ビームを前記被対象基板の表面上にスポット状に集束させる対物レンズと、前記走査手段による電子ビームの走査により前記被対象基板より生じる2次電子若しくは反射電子若しくは吸収電子の少なくとも一つの強度を検出してアナログ画像信号を出力する検出器と、該検出器から検出されて出力されたアナログ画像信号をサンプリングしてデジタル画像信号に変換するA/D変換部とを備えた走査型電子顕微鏡であって、前記A/D変換部から広い撮像視野に基づく低倍率のデジタル画像信号と狭い撮像視野に基づく高倍率のデジタル画像信号とが切り替えられて得られるように少なくとも前記走査手段を切り替えて制御する切り替え制御部と、該切り替え制御部によって切り替えて制御する際、被対象基板の表面における電子ビームのスポット径を切り替えて制御するビームスポット径制御部とを備えたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (3)：

H01J 37/22 502 ,  G01N 21/88 ,  G01N 23/225

FI (3)：

H01J 37/22 502 A ,  G01N 23/225 ,  G01N 21/88 645 B

F-Term (21)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA11 ,  2G001BA15 ,  2G001FA01 ,  2G001FA23 ,  2G001GA06 ,  2G001HA07 ,  2G001JA02 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BC05 ,  2G051CB10 ,  2G051EA12 ,  2G051GC20