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J-GLOBAL ID：200903023387856400

めっき膜の析出不良及び接着力低下防止法

Inventor： 高橋 知顕 ,  赤星 晴夫 ,  川本 峰雄 ,  高橋 昭雄
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993164400
Publication number (International publication number)：1995022736
Application date： Jul. 02, 1993
Publication date： Jan. 24, 1995
Summary：

【要約】【目的】溶剤現像型のめっきレジストを用いたフルアディティブ法プリント配線板に於いて、めっき膜がふくれや波打ちを起こしたり、接着力が低下する問題を防止し、微細回路を安定して形成する。【構成】基板表面に形成した接着剤を粗化し、めっき触媒を付与した後、感光性めっきレジストを形成し、露光,現像,水洗した後、接着剤層へ浸透した現像液を乾燥し、その後無電解めっきで回路を形成する。

Claim (excerpt)：

基板表面に形成した接着剤を粗化し、めっき触媒を付与した後、感光性めっきレジストを形成し、露光,現像,水洗した後、無電解めっきで回路を形成する方法に於いて、めっきレジストの露光,現像後に行う水洗工程の後に、接着剤層へ浸透した現像液を乾燥する工程を導入したことを特徴とするめっき膜の析出不良及び接着力低下防止法。