膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、非接触型カード媒体、圧電体素子、並びにインクジェット式記録ヘッド

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡邊隆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002118287
Publication number (International publication number)：2003311196
Application date： Apr. 19, 2002
Publication date： Nov. 05, 2003
Summary：

【要約】【課題】インクジェット法により得られるパターニング膜の厚膜化を達成し、かつ、エッジ形状を良好にしてパターニング膜の膜厚を均一にする膜パターン形成方法を提供する。【解決手段】第1の吐出工程により重ね塗り吐出を繰り返し、所望の膜厚にある程度近づいた段階(図6(a)中の乾燥膜S5 )で、最終的に膜厚を微調整しエッジ形状を良好なものとするために、第2の吐出工程により低濃度の第2の分散液を吐出する(図6(b)〜(e))。第2の分散液を吐出することにより、基板上に形成する乾燥膜パターンは、所望の膜厚へと微調整することができ、膜厚も均一化し、エッジ形状も良好なものとなる(図6(e))。

Claim (excerpt)：

膜形成成分を含有した液体を、基板上の所定の膜形成領域にインクジェット法により吐出して膜パターンを形成する膜パターン形成方法であって、前記液体としては、第1の液体と、該第1の液体と物性の異なる第2の液体との、少なくとも2種類の液体が使用され、前記第1の液体を前記膜形成領域に吐出する第1吐出工程と、前記第2の液体を前記第1吐出工程で形成された膜上に重ねて吐出する第2吐出工程と、を有することを特徴とする膜パターンの形成方法。

IPC (19)：

B05C 5/00 101 , B05C 9/06 , B05D 1/26 , B05D 1/34 , B05D 5/12 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , G02F 1/1335 505 , G06K 19/077 , G09F 9/00 342 , H01B 1/20 , H01J 9/02 , H01L 21/288 , H01L 21/3205 , H01L 41/09 , H01L 41/22 , H05K 3/10 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (18)：

B05C 5/00 101 , B05C 9/06 , B05D 1/26 Z , B05D 1/34 , B05D 5/12 B , G02F 1/1335 505 , G09F 9/00 342 Z , H01B 1/20 A , H01J 9/02 F , H01L 21/288 Z , H05K 3/10 D , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H01L 41/22 Z , H01L 41/08 U , H01L 21/88 B , B41J 3/04 103 A , G06K 19/00 K

F-Term (131)：

2C057AF65 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057AG55 , 2C057AG94 , 2C057AP58 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 2H091FA37X , 2H091FA37Y , 2H091FA37Z , 2H091FC29 , 2H091GA02 , 2H091GA14 , 2H091LA30 , 3K007AB18 , 3K007CC00 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 3K007FA03 , 4D075AC06 , 4D075AC91 , 4D075AC92 , 4D075AC96 , 4D075AE03 , 4D075AE23 , 4D075BB24Z , 4D075BB33Z , 4D075BB36Z , 4D075BB37Z , 4D075BB42Z , 4D075BB46Z , 4D075BB48Z , 4D075CA21 , 4D075CA22 , 4D075CA23 , 4D075CA36 , 4D075CA48 , 4D075DA04 , 4D075DA06 , 4D075DB01 , 4D075DB13 , 4D075DB14 , 4D075DB31 , 4D075DC19 , 4D075DC22 , 4D075DC24 , 4D075DC27 , 4D075EA06 , 4D075EA07 , 4D075EA10 , 4D075EA12 , 4D075EA45 , 4D075EB16 , 4D075EB39 , 4D075EB43 , 4D075EB47 , 4D075EB56 , 4D075EC07 , 4D075EC08 , 4D075EC10 , 4D075EC30 , 4D075EC52 , 4D075EC54 , 4D075EC60 , 4F041AA02 , 4F041AA05 , 4F041AA06 , 4F041AB02 , 4F041BA10 , 4F041BA22 , 4F041BA38 , 4F041BA56 , 4F042AA02 , 4F042AA06 , 4F042AA07 , 4F042AA10 , 4F042BA15 , 4F042BA25 , 4F042DB04 , 4F042DB18 , 4F042DB25 , 4F042DB41 , 4F042ED02 , 4M104BB09 , 4M104BB36 , 4M104DD21 , 4M104DD51 , 4M104DD78 , 4M104DD80 , 4M104DD81 , 4M104GG09 , 5B035AA04 , 5B035BA03 , 5B035BB09 , 5B035CA01 , 5B035CA08 , 5B035CA23 , 5C027AA02 , 5C027AA06 , 5C027AA09 , 5E343AA02 , 5E343AA11 , 5E343AA38 , 5E343BB16 , 5E343BB22 , 5E343BB72 , 5E343DD12 , 5E343EE42 , 5E343GG08 , 5F033GG03 , 5F033HH13 , 5F033HH38 , 5F033PP26 , 5F033QQ00 , 5F033QQ73 , 5F033QQ82 , 5F033QQ83 , 5F033VV15 , 5F033XX33 , 5G301DA01 , 5G301DA42 , 5G301DD01 , 5G301DD10 , 5G435AA17 , 5G435BB06 , 5G435BB12 , 5G435HH12 , 5G435HH16 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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