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J-GLOBAL ID：200903023407816280

微粒子検出器の光軸調整機構

Inventor： 宮島 茂樹 ,  新保 仙治
Applicant, Patent owner： 日立電子エンジニアリング株式会社
Agent (1)： 梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993089531
Publication number (International publication number)：1994281559
Application date： Mar. 25, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】 半導体製造用の反応ガスなどに使用される微粒子検出器10において、レーザビームLQ のウェィストwを検出領域Kに正しく位置合わせする。【構成】 レーザ発振器3と集束部5のそれぞれの光軸を、検出セル1に対してアライメント調整する調整具73と、検出セル1の対応点に設けられ、アライメント調整されたレーザビームLQ が透過する微小孔62よりなるアライメント調整手段と、検出セル1をXまたはYまたはZ方向に移動し、集束されたウェィストwを検出領域Kに位置合わせするXYZ移動機構8とにより構成される。【効果】 反応ガスなどに使用される微粒子検出器の光軸調整が効率化される。

Claim (excerpt)：

立方形の検出セルと、該検出セルの上面と下面に嵌入された噴射ノズルおよび排出ノズルと、レーザビームを発振する内部ミラー型のレーザ発振器、および該レーザビームを微小な直径のウェィストに集束し、前記両ノズルの先端間の微粒子検出領域に対して投射する集束レンズとを具備する微粒子検出器において、前記レーザ発振器と集束部のそれぞれの光軸を、前記検出セルに対してアライメント調整する調整具と、前記検出セルの対応点に設けられ、該アライメント調整されたレーザビームが透過する微小孔よりなるアライメント調整手段と、前記検出セルをXまたはYまたはZ方向に移動し、前記集束されたウェィストを前記検出領域に位置合わせする、XYZ移動機構とにより構成されたことを特徴とする、微粒子検出器の光軸調整機構。

IPC (3)：

G01N 15/14 ,  H01S 3/101 ,  G01N 21/47