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J-GLOBAL ID：200903023413403567

電子ビーム検査装置

Inventor： 中川 清一
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999052168
Publication number (International publication number)：2000252330
Application date： Mar. 01, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 高い検出感度を維持しつつ、従来装置に比べてスループットを大幅に向上させることができる電子ビーム検査装置を実現する。【解決手段】 高速の静電偏向器である補助偏向器21によって、10〜20kVに加速された2次電子を100MHz以上の応答速度で、一次電子ビーム1の2次元走査に同期して偏向する。この2次電子の偏向により、一次電子ビームの走査位置に対応して検出器20a〜20nのいずれかの検出器を選択する。ここで、検出器20a〜20nの数を512個とし、一次電子ビーム1のウエハ試料3上の1走査ライン分の信号が512ポイントであると、512ポイントの2次電子信号がそれぞれ512個の2次電子検出器20a〜20nによって別個に検出される。このことは、一次電子ビーム1の走査速度を512倍高めることが可能であることを意味し、検査のスループットは512倍改善できることになる。

Claim (excerpt)：

電子ビームを試料上に細く集束するための集束手段と、試料上で電子ビームを2次元的に走査する走査手段と、試料から放出された2次電子を検出するための複数の検出器とを備え、電子ビームの2次元走査に同期して複数の検出器に向かう2次電子を偏向し、電子ビームの試料上の照射位置に応じて2次電子を検出する検出器を選択するようにした電子ビーム検査装置。

IPC (3)：

H01L 21/66 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28

FI (3)：

H01L 21/66 C ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/28 B

F-Term (13)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ03 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ18 ,  5C033FF03 ,  5C033NN01 ,  5C033NP01 ,  5C033NP06 ,  5C033UU04