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J-GLOBAL ID:200903023435513536

赤外線検知素子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 三好 秀和 (外8名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994221709
Publication number (International publication number):1996088411
Application date: Sep. 16, 1994
Publication date: Apr. 02, 1996
Summary:
【要約】【目的】 本発明は、検知特性を向上させ、また微細化、高集積化が可能でハンドリングが容易であり、さらにコストを低減することを目的とする。【構成】 それぞれp型半導体3およびn型半導体4からなる複数個の熱電対で構成され基板1の主面上に当該主面と平行に配設されたサーモパイルと、サーモパイル上に配設されその温接点5と熱的に結合され冷接点6とは熱的に分離された赤外線吸収膜12とを有することを特徴とする。
Claim (excerpt):
それぞれp型半導体およびn型半導体からなる複数個の熱電対で構成され基板の主面上に当該主面と平行に配設されたサーモパイルと、該サーモパイル上に配設され当該サーモパイルにおける温接点と熱的に結合され冷接点とは熱的に分離された入射赤外線吸収用の赤外線吸収膜とを有することを特徴とする赤外線検知素子。
IPC (3):
H01L 35/32 ,  G01J 1/02 ,  G01J 5/02
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平3-276773
  • 特開平2-165025
  • 特開昭63-318175

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