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J-GLOBAL ID：200903023462576094

水酸化物を経由した酸化物膜の合成法

Inventor： 神戸 士郎 ,  森田 一英
Applicant, Patent owner： 神戸 士郎 ,  森田 一英
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991305768
Publication number (International publication number)：1994256959
Application date： Sep. 07, 1991
Publication date： Sep. 13, 1994
Summary：

【要約】【目的】 配向を制御した酸化物膜を、基板の種類と方位・焼結温度・気体雰囲気と無関係に作成し、素子形成に必要な成膜条件を緩和させる。【構成】 基板上に水酸化物膜を形成させ(a)、脱水反応によって酸化物膜を合成する(b)。

Claim (excerpt)：

配向した水酸化物の膜を基板上に形成し、脱水反応によって特定の方位に配向した酸化物膜を合成する方法。

IPC (6)：

C23C 18/12 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  B01J 19/12 ,  C23C 18/14 ,  C30B 29/22 501