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J-GLOBAL ID：200903023462844080

検査方法及び検査装置

Inventor： 蓬莱 泉雄 ,  小藪 拡和 ,  浦野 雄太 ,  神宮 孝広
Applicant, Patent owner： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Agent (1)： ポレール特許業務法人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007176590
Publication number (International publication number)：2009014510
Application date： Jul. 04, 2007
Publication date： Jan. 22, 2009
Summary：

【課題】本発明の目的は、受光した散乱光の中から非弾性散乱光を取除くことによってS/N比が向上し、安定的に異物や欠陥の検出することにある。また本発明は、非弾性散乱光を選択することで、弾性散乱光で検出した欠陥や被検査面の組成分析、若しくは被検査物表面上の欠陥や、被検査物内部の組成を解明できる検査方法と検査装置を提供することにある。【解決手段】本発明の表面検査方法は、光学的に被検査物の表面内からの弾性散乱光と非弾性散乱光とを別々に、或いは同時に検出し、被検査物の欠陥の有無及び欠陥の特徴を検出し、検出された欠陥の被検査物の表面上の位置を検出し、検出された欠陥をその特徴に応じて分類し、欠陥の位置と、欠陥の特徴又は欠陥の分類結果とに基づいて、欠陥の非弾性散乱光検出による分析を行うものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

検査光の照射により被検査体の表面から発生する散乱光で表面の組成、被検査体の内部組成、表面に付着する異物の物質を検知する検査方法において、 前記散乱光から選択した非弾性散乱光で検知することを特徴とする検査方法。

IPC (3)：

G01N 21/956 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/65

FI (3)：

G01N21/956 A ,  G01N21/27 B ,  G01N21/65

F-Term (45)：

2G043AA01 ,  2G043AA03 ,  2G043BA01 ,  2G043BA14 ,  2G043CA05 ,  2G043DA05 ,  2G043EA03 ,  2G043EA14 ,  2G043FA01 ,  2G043FA02 ,  2G043FA06 ,  2G043HA01 ,  2G043HA03 ,  2G043JA02 ,  2G043JA04 ,  2G043KA02 ,  2G043KA03 ,  2G043KA05 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2G043NA01 ,  2G043NA05 ,  2G051AA51 ,  2G051AA71 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA10 ,  2G051BC07 ,  2G051CA02 ,  2G051CA07 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC15 ,  2G051EC01 ,  2G059AA01 ,  2G059BB16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE03 ,  2G059FF01 ,  2G059GG01 ,  2G059HH03 ,  2G059JJ03 ,  2G059KK02 ,  2G059KK03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

• 米国特許第5,798,829号特許明細書
  
• 米国特許第7,002,677号特許明細書
  

Cited by examiner (2)

• 異物検査分析装置及び異物検査分析方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-025799   Applicant：株式会社東芝
• 走査プローブ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-189957   Applicant：トヨタ自動車株式会社