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J-GLOBAL ID：200903023501050895
縮小投影露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992247609
Publication number (International publication number)：1994097043
Application date： Sep. 17, 1992
Publication date： Apr. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】縮小投影露光装置において、ウェーハに全く損傷を与えずに、縮小率の誤差量を検出し補正することにある。【構成】上記の目的を達成するために本発明ではウェーハステージ3上でウェーハ6以外の位置に光電センサ5を、また、ステージ位置に測長器13X,13Y,13Zを設け、縮小率の誤差量を求めた。次に、前記誤差量をウェーハステージ3およびレティクルステージ17の光軸方向の駆動系19を移動することによって補正した。【効果】上記のように構成したことで、ウェーハに全く損傷を与えずに、像の縮小率を補正することが実現できた。
Claim (excerpt)：
回路パターンが描かれたレティクルと、前記レティクルの上方向に位置し回路パターンを露光するための光源と、前記レティクルの下方向で前記レティクルと平行に位置するウェーハと、光軸に垂直な方向に移動可能で前記レティクルを載せたレティクルステージと、同様に前記ウェーハを載せたウェーハステージと、前記レティクルステージもしくはウェーハステージの相対的な位置を計測する測長系を具備し、レティクル上に設けた2つ以上のターゲットマークを露光光によりウェーハステージ上に結像させ、その結像位置から縮小率を算出し、算出された前記縮小率をウェーハステージおよびレティクルステージにフィードバックし、縮小率の誤差量を補正することを特徴とする縮小投影露光装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, G03B 27/32
, G03F 7/207
