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J-GLOBAL ID：200903023509465806

真空蒸着用原料

Inventor： 光井 彰 ,  佐藤 一夫
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993062863
Publication number (International publication number)：1994248427
Application date： Feb. 26, 1993
Publication date： Sep. 06, 1994
Summary：

【要約】【構成】Gaを含むZnO焼結体において、Gaの固溶により高角側にシフトしたGa固溶ZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I1 と、Gaが固溶していない低角側のZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I2 の比が0.2以上(I1 /I2 ≧0.2)である真空蒸着用原料。【効果】膜組成や蒸着原料の蒸着時の経時変化が少なく、空気中でも高い耐熱性を有する低抵抗の透明導電膜が得られる。

Claim (excerpt)：

ガリウムを含む酸化亜鉛焼結体からなる真空蒸着用原料であって、該酸化亜鉛焼結体は、ガリウムの固溶により高角側にシフトしたGa固溶ZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I1 と、ガリウムが固溶していない低角側のZnO相の(002)面のX線回折ピークの積分強度I2 の比が0.2以上(I1 /I2 ≧0.2)であることを特徴とする真空蒸着用原料。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭62-099554