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J-GLOBAL ID：200903023516855202

透明材の検査装置及び検査方法並びに記憶媒体

Inventor： 熊坂 博
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999212545
Publication number (International publication number)：2001041719
Application date： Jul. 27, 1999
Publication date： Feb. 16, 2001
Summary：

【要約】【課題】 透明材表面の凹凸状欠陥を安定的且つ確実に検出し、良品か否かの判定を行う。【解決手段】 透明材の表面状態を検査する装置であって、被検査物4の表面に略均等な強度を有する所定面積の平行光束3aを所定の角度傾いた方向から照射し、照射された平行光束3あによる被検査物4の透過光像と反射光像を各々独立の光学系にて各々所定の撮像素子7A,7Bに投影し、光電変換された透過光像及び反射光像の光電変換信号を基に、被検査物4の表面状態を検査する。透過光像及び反射光像の光強度分布を撮像することで、透明材表面の凹凸状欠陥を安定的且つ確実に検出し、良品か否かの判定を行うことが可能となる。

Claim (excerpt)：

透明材の表面状態を検査する装置であって、被検査物の表面に略均等な強度を有する所定面積の平行光束を照射し、照射された前記平行光束による前記被検査物の透過光像と反射光像を各々独立の光学系にて各々所定の撮像素子に投影し、前記撮像素子にて光電変換された前記透過光像及び反射光像の光電変換信号を基に、前記被検査物の表面状態を検査することを特徴とする透明材の検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/958

FI (2)：

G01B 11/24 K ,  G01N 21/958

F-Term (38)：

2F065AA49 ,  2F065BB22 ,  2F065CC00 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065FF61 ,  2F065GG05 ,  2F065GG12 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL30 ,  2F065MM03 ,  2F065PP01 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ25 ,  2F065SS04 ,  2G051AA41 ,  2G051AA42 ,  2G051AA84 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051ED01