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J-GLOBAL ID：200903023523207941

ネガ型感光性組成物

Inventor： 青合 利明 ,  小久保 忠嘉
Applicant, Patent owner： 富士写真フイルム株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991344085
Publication number (International publication number)：1993158239
Application date： Dec. 03, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】高感度でかつ高解像力であるネガ型感光性組成物を提供する。更に、露光後の処理工程条件による性能の変動が小さいフオトレジスト組成物を提供する。【構成】 ネガ型感光性組成物が、(a)水に不溶でアルカリ水に可溶な樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸の作用により架橋し得る基を少なくとも1個有する化合物、及び(d)50°C以上で塩基を発生する化合物、を含有する。

Claim (excerpt)：

(a)水に不溶でアルカリ水に可溶な樹脂、(b)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(c)酸の作用により架橋し得る基を少なくとも1個有する化合物、及び(d)50°C以上で塩基を発生する化合物、を含有することを特徴とするネガ型感光性組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027