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J-GLOBAL ID:200903023524184759

微小部光物性測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 小川 勝男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996165558
Publication number (International publication number):1998010139
Application date: Jun. 26, 1996
Publication date: Jan. 16, 1998
Summary:
【要約】【課題】光を効率よく集光することにより積算時間を短縮し位置分解能を上げ、原子レベルで物質同定できる装置を提供する。【解決手段】光を検出する光検出器を有し、走査型プローブ顕微鏡の探針より電子を物質に注入し、その探針先端直下の物質より放出される光を検出することにより、原子レベルの位置分解能で表面の物質同定や電子状態の解明ができることを特徴とする微小部光物性測定装置。
Claim (excerpt):
光を検出する光検出器を有し、走査型プローブ顕微鏡の探針より電子を物質に注入し、その探針先端直下の物質より放出される光を検出することにより、原子レベルの位置分解能で表面の物質同定や電子状態の解明ができることを特徴とする微小部光物性測定装置。
IPC (2):
G01N 37/00 ,  G01B 11/30
FI (2):
G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z

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