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J-GLOBAL ID：200903023527889133

感光性グリーンシート及びそれを用いた複合グリーンシート

Inventor：
光山 昌宏

About 光山 昌宏


Applicant, Patent owner：
株式会社KRI

About 株式会社KRI


Agent (1)： 鍬田 充生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004049418
Publication number (International publication number)：2005241801
Application date： Feb. 25, 2004
Publication date： Sep. 08, 2005
Summary：
【課題】 解像性や現像性などの感光特性と、シート形成性やタック性などのグリーンシート特性とを両立できるグリーンシートを提供する。【解決手段】 基板に対して粘着性を有する粘着性グリーンシートと、この粘着性グリーンシートに積層され、感光性を有する感光性グリーンシートとで複合シートを形成する。前記粘着性グリーンシートは、ガラス粉末などの無機成分(b)とバインダー樹脂とで構成でき、前記感光性グリーンシートは、ガラス粉末などの無機成分(a)と、水又はアルカリ現像可能な感光性樹脂とで構成できる。前記感光性樹脂は、ベースポリマー(光重合性基を有するヒドロキシアルキルセルロースなど)と光重合開始剤とで構成されたネガ型感光性樹脂組成物などで構成できる。このような複合シートでは、感光性を有するシートと基板に対する粘着性を有するシートとを個別に形成するので、感光特性とグリーンシート特性とを高レベルで両立できる。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
基板に対して粘着性を有する粘着性グリーンシートに積層してパターンを形成するための感光性グリーンシートであって、無機成分(a)と、水又はアルカリ現像可能な感光性樹脂とで構成されている感光性グリーンシート。
IPC (4)：
G03F7/004 ,  C04B35/632 ,  G03F7/11 ,  G03F7/40
FI (5)：
G03F7/004 512 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/11 503 ,  G03F7/40 521 ,  C04B35/00 108
F-Term (25)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB14 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CA00 ,  2H025CB04 ,  2H025CC20 ,  2H025DA40 ,  2H025EA08 ,  2H025FA29 ,  2H096AA27 ,  2H096AA28 ,  2H096BA05 ,  2H096CA16 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  4G030PA21 ,  4G030PA25
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)

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