感光性組成物及び感光性フィルム、並びに、永久パターン及びその形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (3)：廣田浩一 , 流良広 , 松田奈緒子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004128765
Publication number (International publication number)：2005309247
Application date： Apr. 23, 2004
Publication date： Nov. 04, 2005
Summary：

【課題】表面のタック性が小さく、ラミネート性、取扱い性が良好で、保存安定性に優れ、露光感度が極めて高く、現像後に優れた表面硬度、耐熱性等を発現する感光性組成物及びこれを用いた感光性フィルム、並びに、高精細な永久パターン及びその効率的な形成方法の提供。【解決手段】無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、カルボキシル基を有する繰り返し単位及びアルケニル基を有する繰り返し単位を少なくとも含む共重合体と、重合性化合物と、光重合開始剤と、を少なくとも含む感光性組成物、これを用いた感光性フィルム、永久パターン及びその形成方法である。無水マレイン酸共重合体が、無水マレイン酸と芳香族ビニル単量体とホモポリマーのガラス転移温度(Tg)が80°C未満であるビニル単量体とからなる共重合体であるのが好ましい。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

(A)(1)無水マレイン酸共重合体の無水物基に対して0.1〜1.2当量の1級アミン化合物を反応させて得られる共重合体と、(2)カルボキシル基を有する繰り返し単位及びアルケニル基を有する繰り返し単位を少なくとも含む共重合体と、(B)重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。

IPC (9)：

G03F7/038 , C08F2/44 , C08F20/00 , G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/11 , G03F7/20 , G03F7/40

FI (10)：

G03F7/038 501 , C08F2/44 C , C08F20/00 510 , G03F7/004 501 , G03F7/004 512 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/11 501 , G03F7/20 505 , G03F7/40 501

F-Term (60)：

2H025AA01 , 2H025AA06 , 2H025AA10 , 2H025AA13 , 2H025AB11 , 2H025AB17 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC13 , 2H025BC19 , 2H025BC42 , 2H025BJ10 , 2H025CA07 , 2H025CA18 , 2H025CA28 , 2H025CA34 , 2H025CA48 , 2H025CB10 , 2H025CB16 , 2H025CB41 , 2H025CB47 , 2H025CB60 , 2H025CC17 , 2H025DA01 , 2H025FA03 , 2H025FA29 , 2H096AA27 , 2H096BA05 , 2H096BA06 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H097AA04 , 2H097AB05 , 2H097CA06 , 2H097CA17 , 2H097FA02 , 2H097JA04 , 2H097LA09 , 4J011PA69 , 4J011PA70 , 4J011QA12 , 4J011QA21 , 4J011QA22 , 4J011QA23 , 4J011QA24 , 4J011QB14 , 4J011QB16 , 4J011QB19 , 4J011QB24 , 4J011SA21 , 4J011SA64 , 4J011SA78 , 4J011SA84 , 4J011UA01 , 4J011UA02 , 4J011UA03 , 4J011UA04 , 4J011WA01 , 4J011WA10

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (2)

特開昭61-243869号公報
特開平02-097502号公報

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