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J-GLOBAL ID：200903023547592803

光学系の検査装置および該検査装置を備えた位置合わせ装置並びに投影露光装置

Inventor： 中川 正弘
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999016424
Publication number (International publication number)：2000214047
Application date： Jan. 26, 1999
Publication date： Aug. 04, 2000
Summary：

【要約】【課題】 光学系に残存する高次の非対称収差を正確に且つ簡易に検査することのできる検査装置。【解決手段】 結像光学系(107〜115)を介して形成されたパターンの像を検出するための像検出手段(116、117)と、像検出手段において検出されるパターンの像をデフォーカスさせるためのデフォーカス手段(122)とを備えている。そして、像検出手段において複数のデフォーカス状態で検出されたパターンのエッジに対応する像の非対称性の変化と、像検出手段において複数のデフォーカス状態で検出されたパターン像の結像光学系の光軸と直交する方向に沿った位置変化とに基づいて、結像光学系に残存する収差であってパターンの像の検出方向に関して非対称な収差を検査する。

Claim (excerpt)：

パターンからの光束を集光して前記パターンの像を結像させる結像光学系を検査する検査装置において、前記結像光学系を介して形成された前記パターンの像を検出するための像検出手段と、前記像検出手段において検出される前記パターンの像をデフォーカスさせるためのデフォーカス手段と、前記像検出手段において複数のデフォーカス状態で検出された前記パターンのエッジに対応する像の非対称性の変化と、前記像検出手段において複数のデフォーカス状態で検出された前記パターン像の前記結像光学系の光軸と直交する方向に沿った位置変化とに基づいて、前記結像光学系に残存する収差であって前記パターンの像の検出方向に関して非対称な収差を検査するための検査手段とを備えていることを特徴とする検査装置。

IPC (7)：

G01M 11/02 ,  G01B 11/00 ,  G02B 7/00 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (8)：

G01M 11/02 B ,  G01B 11/00 H ,  G02B 7/00 D ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 525 F

F-Term (30)：

2F065AA04 ,  2F065AA12 ,  2F065AA15 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC17 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065GG03 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ14 ,  2G086HH06 ,  2H043AD06 ,  2H043AD15 ,  2H087KA21 ,  2H087NA01 ,  5F046BA03 ,  9A001BB06 ,  9A001GG01 ,  9A001HH34 ,  9A001JJ48 ,  9A001KK16 ,  9A001KK37 ,  9A001KK54 ,  9A001LL09